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    應用案例 Solutions
    一篇文章讀懂什么是背照式CMOS
    點擊次數:4133 更新時間:2021-06-08

    前照式CMOS更像是放高額借款的,借十給九還十三這是規矩,效率很難高的起來;背照式CMOS則像過完年回來的行李箱,想著辦法地還能多裝一點,因此特別適合低照度環境。
     
    結構性擋光的前照式CMOS
    CMOS芯片是由好多層結構反復搭建而成的。在傳統結構中,自上而下依次為微透鏡組(Micro-lens)、彩色濾光鏡(Color Filter)、電路層(Wiring Layers)和光電二極管(Photodiodes)。
     

     

    ▲一個典型的貝爾濾波CMOS結構。光線經過微透鏡組,被濾光鏡過濾為紅、綠、藍三種光,穿過很多層狹小的電路層后,分別被自己的光電二極管接收到,從而形成一副彩色畫面。
     
    于是乎,在芯片這種狹小結構中,像元形成了一種類似井的成像結構,叫做“阱”。這些層疊的金屬電路層,會阻擋和反射一部分入射光,等光線到達光電二極管的時候已經被層層盤剝,只剩下70%不到。這個過程學名叫做“效率”。而且,這種反射還有可能串擾旁邊的像素,發生一種本來應該是藍光的光子卻被綠光二極管接收到了,從而在一定概率上發生顏色失真。
     
    這個由結構產生的問題,在暗場環境或者高感光度拍攝時會尤為突出。要么整個畫面漆黑一片,顯微鏡下發生核戰爭你都不一定能看到。要么整個畫面雜點噪聲眾多,顆粒感強的你都想摔顯微鏡。
     
    所以背照式的CMOS芯片就應運而生了。
     
    前置感光的背照式CMOS
    背照式CMOS英文為Back-Illuminated CMOS,縮寫為BI CMOS;或BackSide Illumination CMOS,縮寫為BSI CMOS。在背照式BSI結構中,光電二極管和電路層的位置發生了調換,自上至下依次為微透鏡(Micro-lens)、彩色濾光鏡(Color Filter)、光電二極管(Photodiodes)和電路層(Wiring Layers)。
     
    背照式CMOS的金屬排線層以及光電二極管的位置,同前照式來說剛好相反,光線可以幾乎沒有阻擋和干擾地被光電二極管捕獲,因此光線的利用率高。同時沒有了遮擋,開口更大,使CMOS擁有更高的靈敏度和信噪比,這一點在低照度環境下表現的尤為突出。
     

    ▲背照、前照兩種CMOS的結構對比,以及顯微鏡下的結構比對。能夠清晰明了的明白為什么背照式更適合暗場環境應用。
     
    其實,背照式的概念早在1990年就被提出過,但是受制于當時的生產制造水平,背照式成像芯片無法實現量產。即便是現在,背照式成像芯片依然僅僅活躍在科研領域。
     

     

    ▲德國PCO是科學成像領域的老前輩了,旗下sCMOS相機edge系列加入背照式sCMOS新品pco.edge 4.2 bi。
     
    pco.edge 4.2 bi使用一塊2048×2048分辨率的16bit sCMOS芯片,在背照式結構的加持下,效率超過95%。支持液體或風扇制冷,低可制冷低過-25℃,此時暗噪聲僅有 0.2 e-/pixel/s,一舉打破背照式CMOS金屬電路層密度高所帶來的信噪比下降謎團!
     
    pco.edge 4.2 bi滿分辨率下可以達到高40fps,僅使用一根USB 3.1 Gen1線纜即可同時高速傳輸數據和供電。整機小巧緊湊,僅有80×85×102.8mm,實在是實驗室用戶的選擇!
     

    ▲至今走出過33位諾貝爾獎獲得者的德國馬克斯·普朗克學會,在《DNA折紙瞬態結合熒光成像的單分子動力學和超分辨顯微術》中使用pco.edge 4.2 bi拍攝的超分辨率cos7細胞圖像。可以明顯看出pco.edge 4.2 bi(左)與普通黑白款前照式sCMOS(右)的成像差別。

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